Produktdetails

Die Perowskit-Beschichtungsmaschine verwendet eine Vakuumspannvorrichtung, um das Substrat durch Adsorption zu fixieren. Durch die Integration eines Portalbewegungssystems, einer hochpräzisen Flüssigkeitsförderpumpe und eines Beschichtungskopfs zur Materialabgabe ermöglicht das System die präzise Abscheidung dünner Filme aus einer Vielzahl von Materialien. Die Perowskit-Beschichtungsmaschine sorgt für eine außergewöhnliche Gesamtgleichmäßigkeit der Beschichtung, minimiert den Materialverbrauch und sorgt für eine hohe Betriebsgeschwindigkeit. Es ist in der Lage, Zielschlämme gleichmäßig auf Substratoberflächen aufzutragen und durch spezifische Prozessmethoden Parameter wie Beschichtungsdicke, Abmessungen und Geometrie präzise zu steuern; Anschließend wird die Aufschlämmung ausgehärtet und über einen Schlitzbeschichtungsprozess mit der Substratoberfläche verbunden. Diese Ausrüstung ist für die Verwendung mit blattförmigen Substraten-entwickelt, die blattförmige-fertige Produkte ergeben-und wird häufig in der hochpräzisen Beschichtungsforschung und -entwicklung in Bereichen wie Displays, Solarenergie, Halbleiter und flexible Elektronik eingesetzt.

Produktmerkmale

1. Die Perowskit-Beschichtungsmaschine ist mit einer Vakuumadsorptionsfunktion ausgestattet;

2. Geeignet für blattförmige Substrate;

3. Gewährleistet eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Beschichtung und minimiert den Materialverbrauch.

Produktparameter

Substratabmessungen	500*500mm
Substrattyp	Glas
Substratdicke	Anpassbar
Filmdickenbereich	200 nm ~ 1 um
Gleichmäßigkeit	Kleiner oder gleich ±5 %
Kanteneffekt	Anpassbar
Materialviskositätsbereich	Standard 1 bis 50 cps (Spritzenpumpe)
Systemverpackungsmenge	Unter 30 ml
Zertifizierung	Konform mit UL- und CE-Standards
Tank für flüssige Medikamente	Material: PE\|Ventil: SMC
Spritzenpumpe	Kapazität der Spritzenpumpe: 5 ml; Volumen des Systembasisreservoirs: 30 ml.
Schlitzbeschichtungskopf	316L-Edelstahllegierung (korrosionsbeständig; geeignet für Beschichtungsmaterialien mit einer Vielzahl von Eigenschaften)\|Maximale Beschichtungsbreite: 296 mm
Vakuumfutter	Futtermaterial: Granit. Ebenheit: Kleiner oder gleich 10 µm. Methode zur Substratbefestigung: Vakuumabsaugung. Vakuumanschlussdurchmesser: Kleiner oder gleich 1. 0 mm.
Vor-Beschichtungs- und Reinigungsbereiche	Die Ausrüstung verfügt über eine Vor-Beschichtungszone; Der Vorbeschichtungsbereich kann programmgesteuert gesteuert werden und die Reinigungs- und Lagerpositionen des Beschichtungskopfs können über das HMI konfiguriert werden.
Luftmesser	Verfügt über eine zweistufige Rotation und ein aufrüstbares 12-Gang-Steuerungssystem; Enthält einen linearen Luftauslass mit einstellbaren Luftstromwinkeln und ist mit einem Steuerventil zur Einstellung des Luftstromvolumens ausgestattet.
Gewicht	Ca.. 1, 200 kg (kundenspezifisch)
Geräteabmessungen	L 1450 mm x B 1200 mm x H 1650 mm (kundenspezifisch)